Анаэробты пеш

Сипаттама

Inert Atmosphere Oven сериясы кремний пластинкаларын, галлий арсениді, литий ниобаты, PR жабыны алдында шыны, PR жабынынан кейін қатты пленка пісіру және әзірлегеннен кейін жоғары температурада пісіру үшін жартылай өткізгіш өндірісте қолданылады; Ол сондай-ақ электронды сұйық кристалды дисплей, СКД, CMOS, IS және зертханалар сияқты өндірістік және ғылыми-зерттеу бөлімшелері үшін жарамды; оны кептіру, термиялық өңдеу, қартаю және басқа да ұшпайтын, жанбайтын және жарылғыш емес заттарды жоғары температурада сынау үшін пайдалануға болады.

Негізгі параметрлер

►Техникалық параметрлер

Сыйымдылығы: Өнімге сәйкес реттеледі

Температура диапазоны: қоршаған орта+50°C ~ 250°C

Оттегі мөлшері: ≤50ppm

Температураның біркелкілігі: ±2,5%

Көтеру жылдамдығы: басқарылатын

Азот кірісі: Φ8

Азот ағыны: 0-240L/мин * 2 арна

► Құрылымы

. Ішкі пеш: Тот баспайтын болаттан жасалған және аргон газымен жіксіз дәнекерленген.

. Герметикалық жабылған: камера оттегі деңгейін төмендету үшін тығыздалған.

. Ауа қабылдау құрылымы: камераны тотықтырмайтын газдарды толтыруға мүмкіндік береді.

. O2 анализаторы: оттегі деңгейін 0,5~21% аралығында дәл реттеңіз

► Температураны реттеу жүйесі

Интеллектуалды JAPAN RKC температура реттегіші, бағдарламалар мен түзету мәндерін орнату, AT автоматты реттеу, офсетті түзету және қуатты өшіруді сақтау.

► Ауаның мәжбүрлі конвекциясы

Ыстық ауа айналымы жүйесіндегі патенттелген ауа құбыры температураның біркелкілігін автоматты түрде реттей алады.

Анаэробты (инертті) пештерге арналған мүмкіндіктер

► Сыртқы атмосфераның енуіне жол бермеу үшін герметикалық жабылған тот баспайтын болаттан жасалған студия

► Анаэробты термиялық өңдеу үшін азот инертті газды пайдаланыңыз

► Шығын өлшегіш және манометр жабдықталған

► Көп жақты қорғаныс құралдары

Параметрлер

► PLC+7” бағдарламаланатын контроллер

► Үш түсті жыпылықтайтын шам дабылы

► Артық температураны шектегіш

► Қолмен жұмыс істейтін қауіпсіздік құрылғылары

Неліктен инертті атмосфералық пештерді таңдау керек?

Қазіргі уақытта тізбектердегі сым материалдары алюминийден төменгі кедергісі бар мысға ауысты. Сондықтан қалыпты кептіру пешінде термиялық өңдеуден өткенде, мыс бөлшектері тотығуы мүмкін, бұл ақауларды тудырады. Сонымен қатар, 250 ° C қартаюы флэш-жадта жазылған деректердің электромиграцияға байланысты жойылғанын немесе жойылғанын және соққы бөліктерінің тотығатынын тексеру үшін орындалады, сондықтан оттегінің мазмұнын <100ppm дейін азайту керек. Бұл анаэробты пеш осы талаптарды қанағаттандыру үшін жасалған.

Қолданба

Инертті атмосфералық пештер негізінен BPO желім/PI желім/BCB желімін өңдеу, IC (вафли, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, жоғары дәлдіктегі электрондық компоненттер және кептіру және қартаю сынақтары үшін төмен оттегі ортасындағы басқа материалдар үшін қолданылады. .